[发明专利]一种碳/碳/碳化硅复合材料坩埚的制备方法在审
| 申请号： | 202110509674.4 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113277867A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 朱献文;朱纬纬 | 申请（专利权）人： | 广州三的投资管理企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C04B35/622;C04B41/87 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及坩埚制备技术领域，公开了一种碳/碳/碳化硅复合材料坩埚的制备方法，包括如下步骤：A)将碳纤维平纹布、碳纤维网胎依次交替叠加在芯模上，当达到预定厚度时，通过针刺缝合工艺制成坩埚预制体；B)以丙烯为碳源气体，以氩气为载气，采用化学气相沉积工艺在预制体上进行沉积增密，再进行重复的浸渍‑高温裂解操作，制备成预定密度的坩埚坯体；C)对坩埚坯体进行机械加工，制成坩埚制品；D)对坩埚制品进行气相渗硅，以形成致密的碳化硅涂层，制备成得坩埚成品。该方法充分利用了每种工艺填充预制体内部孔隙的优点，而且使坩埚制品的表面形成致密的碳化硅涂层，能够有效抑制氧化侵蚀，大幅度提高了坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 复合材料 坩埚 制备 方法 | ||
【主权项】：
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