[发明专利]基于铁电掺杂的隧穿场效应晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于铁电掺杂的隧穿场效应晶体管及其制备方法，主要解决现有器件杂质浓度不均匀，开关电流比与亚阈值摆幅大及功耗高的问题。其包括：衬底(1)、氧化层(2)和沟道层(3)，沟道层两侧分别是漏极(11)和源极(12)，沟道层上方依次为铁电材料构成的源极极化栅(6)、控制绝缘介质栅(4)、铁电材料构成的漏极极化栅(5)，该源极极化栅与漏极极化栅两侧为隔离绝缘介质(7)，源极极化栅上方是源极极化电极(8)，该控制介质栅的上方是控制栅电极(9)，该漏极极化栅上方是漏极极化电极(10)。本发明利用漏极极化栅与源极极化栅的铁电极化性质，实现对源漏掺杂区载流子浓度的精确控制，提升了器件的整体性能。