[发明专利]多层滤光结构及其制作方法在审
| 申请号： | 202110494899.7 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN115308829A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 李俊儀;陈威宏 | 申请（专利权）人： | 冠晶光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台中市大*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多层滤光结构及其制作方法，前述的多层滤光结构包含一基板、一滤光层以及一图案化遮光层，前述的多层滤光结构的制作方法包含提供一基板、进行一滤光层沉积步骤、进行一光阻涂布步骤、进行一选择性曝光步骤、进行一遮光层沉积步骤以及进行一光阻剥离步骤。借此，可得具有多种可选颜色及高测距准确度或高侦测准确度的多层滤光结构。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 滤光 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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