[发明专利]垫温度调节装置、垫温度调节方法及研磨装置在审
| 申请号： | 202110494699.1 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113618622A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 鱼住修司;丸山徹 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/005;B24B55/02;B24B37/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种垫温度调节装置，能够提高研磨垫的表面温度的控制响应性，并且能够不在基板产生划痕等缺陷和污染地调节该研磨垫的表面温度。垫温度调节装置(5)具备：热交换器(11)，该热交换器配置于研磨垫(3)的上方，并且被维持在规定的温度；垫温度测定器(39)，该垫温度测定器对研磨垫(3)的表面温度进行测定；距离传感器(14)，该距离传感器对研磨垫(3)与热交换器(11)之间的间隔距离进行测定；上下移动机构(71)，该上下移动机构使热交换器(11)相对于研磨垫(3)进行上下移动；以及控制装置(40)，该控制装置基于垫温度测定器(39)的测定值来控制上下移动机构(71)的动作。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调节 装置 方法 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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