[发明专利]包括调节电路的反应器系统

摘要

一种反应器系统的基座组件的，可以包括由基座外边缘限定的基座本体，基座本体包括基座外部部分和基座内部部分，其中基座外部部分邻近于基座外边缘，并且基座内部部分被至少部分地封闭在基座外部部分内；第一调节电路，包括边缘电极和耦接到边缘电极的第一谐振电路，其中边缘电极耦接到基座本体；第二调节电路，包括中央电极和耦接到中央电极的第二谐振电路，其中中央电极耦接到基座本体；其中边缘电极设置为比中央电极更邻近于基座外边缘。