[发明专利]一种图像传感器及其形成方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器形成方法，包括以下步骤：在栅极形成前，通过刻蚀工艺在半导体衬底上形成口径为第一宽度的凹槽结构；通过外延工艺使所述凹槽封闭，形成第一隔离区域，同时在所述凹槽中形成口径为第二宽度的中空间隙，用于第一感光区域的侧向隔离，所述第二宽度小于所述第一宽度。本发明还提供一种图像传感器，采用上述形成方法形成。本发明中的技术可以有效地隔离光在相邻像素单元的串扰，并能够减少其他隔离材料引起的应力问题，降低图像传感器的噪声。在栅极完成前实现该结构，与现有工艺有非常好的工艺兼容性。