[发明专利]化学水浴沉积装置及其使用方法

摘要

本发明公开一种化学水浴沉积装置及其使用方法，该化学水浴沉积装置包括水浴锅和化学槽；所述水浴锅的内部空腔安装有所述化学槽，所述水浴锅的内部空腔用于容置水，所述化学槽的内部空腔用于容置化学镀液和基片；所述化学槽的顶面开口，所述化学槽的底面封闭，且所述化学槽的底面向上凸起形成凸台，以使所述化学槽的底部形成凹槽；所述凹槽能够与所述水浴锅的内部空腔连通，所述化学槽的外侧面和所述凹槽的槽壁均能够与所述水浴锅内的水接触。本发明中，使化学槽的底面向上凸起，以使化学槽的底部形成有能够与水浴锅的内部空腔连通的凹槽，增大了化学槽与水浴锅内的水的接触面积，同时还减少了化学镀液的体积，因而能够缩短化学镀液的升温时间。