[发明专利]像素阵列基板中的电隔离及相关方法

摘要

本发明涉及一种像素阵列基板，包括具有像素阵列、后表面和前表面的半导体基板，以及保护环，保护环由掺杂的半导体形成，包围像素阵列，并从前表面延伸到半导体基板中，所述后表面形成沟槽，所述沟槽延伸到半导体基板中并且与保护环重叠。本发明还涉及一种用于减少进入像素阵列中的泄漏电流的方法，包括：对半导体基板进行掺杂以形成保护环，保护环从前表面延伸到半导体基板中，包围像素阵列，排除外围区域，并且阻挡电流的流动，以及将沟槽形成到所述半导体基板的后表面中，所述沟槽穿入所述后表面并且与所述保护环重叠，所述保护环和所述沟槽被配置为阻挡在所述像素阵列与所述外围区域之间的电流的流动。