[发明专利]一种基于空域载频相移的多波长动态相位测量装置及方法在审

专利信息
申请号: 202110474522.5 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113155058A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 范金坪 申请(专利权)人: 范金坪
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 东莞市卓越超群知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44462 代理人: 李慧
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种基于空域载频相移的多波长动态相位测量装置及方法,包括若干激光器组成的激光器组件、前分光镜组件、光束耦合组件、检测物体、显微物镜、反射镜组件、后分光镜组件和成像器件,激光器组件各激光器射出的光束被前分光镜组件分为检测光束和参考光束,所述检测光束依次穿过检测物体和显微物镜后形成物光被成像器件接收,不同激光器发出的参考光束被反射镜组件反射后被后分光镜组件耦合成共路传播的光束形成参考光,所述参考光被成像器件接收,所述物光和参考光能够在成像器件靶面发生干涉,通过所述成像器件单词曝光记录能够得到多波长空域载频干涉图。本发明扩大了干涉测量的测量范围和测量量程,促进光学相位测量技术的发展。
搜索关键词: 一种 基于 空域 载频 相移 波长 动态 相位 测量 装置 方法
【主权项】:
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