[发明专利]一种金属强化多孔金刚石膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种金属强化多孔金刚石膜及其制备方法，属于金刚石膜技术领域。本发明通过采用微波化学气相沉积技术，沉积出纳米或微米级金刚石膜，采用磁控溅射的方法在金刚石膜的表面，溅射一层氧化物，之后放入微波化学气相沉积系统中，用氢氩或氢等离子对其刻蚀，之后放入硝酸钠溶液中加热，对金刚石膜进一步刻蚀，并除去等离子刻蚀时产生的非金刚石相及金属纳米颗粒，再次磁控溅射铂、金等贵金属单质，最后放入微波化学气相沉积系统中将贵金属分散，得到形态较好的金属强化多孔金刚石膜。本发明方法简单、易于操作，制备的金刚石膜表面的多孔结构，并且填充的贵金属是良好的催化剂，在化学催化、传感器等领域具有广泛应用前景。