[发明专利]半导体元件的测试设备及其测试方法在审
| 申请号： | 202110467810.8 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113608088A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡政彦 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 谢强;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种半导体元件的测试设备及测试方法。该测试设备具有一测试器、一接口板、一屏蔽件、一气体供应单元、一温度感测装置以及一控制器；该接口板设置在该测试器上，并经配置以容纳该半导体元件且连接干半导体元件到该测试器；该屏蔽件设置在该接口板上，并具有一凹陷；该气体供应单元具有一导管，延伸经过该屏蔽件并可到达该凹陷；该温度感测装置设置在该凹陷内；该控制器经配置以控制该测试器、该气体供应单元以及该温度感测装置，并与该测试器、该气体供应单元以及该温度感测装置进行通信。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 测试 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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