[发明专利]硅基OLED微显示器及其制作方法在审
| 申请号： | 202110460824.7 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113192830A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 蚌埠芯视源光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/52;G09F9/30;G09F9/33 |
| 代理公司： | 北京中知君达知识产权代理有限公司 11769 | 代理人： | 李辰;黄启法 |
| 地址： | 233000 安徽省蚌埠市蚌山区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请是关于一种硅基OLED微显示器及其制作方法。该方法包括：制作曲面硅基集成电路背板，其中包括根据预设的曲面曲率半径要求，确定曲面硅基集成电路背板对应的厚度要求，根据确定的厚度要求，通过设定工艺将曲面硅基集成电路背板的厚度减薄至设定范围；在曲面硅基集成电路背板上形成阳极层，及在阳极层上蒸镀OLED显示器件，形成OLED发光层；对OLED显示器件进行薄膜封装，形成薄膜封装层；在薄膜封装层上制作彩色滤光片，形成彩色滤光层；在彩色滤光层上贴合盖板形成盖板封装层，得到硅基OLED微显示器。本申请提供的方案，能够制得曲面的硅基OLED微显示器，从而提升观看时画面临场感，提升视觉体验。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基 oled 显示器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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