[发明专利]具有含金刚石颗粒的反应烧结碳化硅的陶瓷衬底在审
| 申请号： | 202110459122.7 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113563081A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 塞缪尔·M·萨拉莫内;小格伦·埃文斯 | 申请（专利权）人： | II-VI特拉华有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622;B24B37/10;B24B37/20;B24B37/30;B24B37/34;B24B53/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 董敏;李新燕 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种复合材料，该复合材料可以包括第一反应烧结碳化硅(第一RB‑SiC)材料的衬底以及结合至该衬底的表面的反应烧结含金刚石碳化硅(RB‑DSiC)层。在一些方面，RB‑DSiC层包括与第二反应烧结碳化硅(第二RB‑SiC)材料结合的金刚石颗粒。金刚石颗粒可以均匀地分布在整个第二RB‑SiC中或仅分布在第二RB‑SiC的表面处。金刚石颗粒可以呈有序图案或无序图案。例如，CMP修整盘可以包括根据实施方式中的一个实施方式的复合材料。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 金刚石 颗粒 反应 烧结 碳化硅 陶瓷 衬底 | ||
【主权项】：
暂无信息
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