[发明专利]具有含金刚石颗粒的反应烧结碳化硅的陶瓷衬底

权利要求书

1.一种复合材料，包括：

反应烧结碳化硅材料的衬底；以及

结合至所述衬底的表面的反应烧结含金刚石碳化硅层，其中，所述反应烧结含金刚石碳化硅层包括金刚石颗粒。

2.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述金刚石颗粒不是均匀地分布在整个所述反应烧结含金刚石碳化硅层中。

3.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述金刚石颗粒均匀地分布在整个所述反应烧结含金刚石碳化硅层中。

4.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述金刚石颗粒分布在所述反应烧结含金刚石碳化硅层的表面处，所述金刚石颗粒至少部分地嵌入所述反应烧结含金刚石碳化硅层中，并且所述金刚石颗粒从所述反应烧结含金刚石碳化硅层的所述表面至少部分地突出。

5.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述金刚石颗粒以有序图案布置在所述反应烧结含金刚石碳化硅层的表面上。

6.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述金刚石颗粒以无序图案布置在所述反应烧结含金刚石碳化硅层的表面上。

7.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述金刚石颗粒分布在整个所述反应烧结含金刚石碳化硅层中。

8.根据权利要求1所述的复合材料，其中，相比于分布在所述反应烧结含金刚石碳化硅层的表面处的金刚石颗粒，分布在整个所述反应烧结含金刚石碳化硅层中的金刚石颗粒具有更小的平均粒度。

9.根据权利要求1所述的复合材料，其中，所述衬底能够通过以下各者中的至少一者而与所述反应烧结含金刚石碳化硅层区分开：

所述衬底与所述反应烧结含金刚石碳化硅层之间的接合面；

所述衬底具有第一平均碳化硅粒度，所述第一平均碳化硅粒度与所述反应烧结含金刚石碳化硅层的第二平均碳化硅粒度不同；

所述衬底具有第一平均碳化硅颗粒间间隔距离，所述第一平均碳化硅颗粒间间隔距离与所述反应烧结含金刚石碳化硅层的第二平均碳化硅颗粒间间隔距离不同；

所述衬底具有每总单位体积第一平均碳化硅颗粒体积，所述每总单位体积第一平均碳化硅颗粒体积与所述反应烧结含金刚石碳化硅层的每总单位体积第二平均碳化硅颗粒体积不同；

所述衬底具有第一碳化硅颗粒体积百分比，所述第一碳化硅颗粒体积百分比与所述反应烧结含金刚石碳化硅层的第二碳化硅颗粒体积百分比不同；或者

所述衬底具有第一未反应硅体积百分比，所述第一未反应硅体积百分比与所述反应烧结含金刚石碳化硅层的第二未反应硅体积百分比不同。

10.一种包括根据权利要求1所述的复合材料的化学机械抛光修整盘。

11.一种形成复合物的方法，所述方法包括：

提供反应烧结碳化硅材料的预成型衬底；

将具有金刚石颗粒的碳化硅膏料施加到所述预成型衬底的表面上；以及

对所述碳化硅膏料进行烧制，以形成结合至所述预成型衬底的所述表面的所述反应烧结含金刚石碳化硅层。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括通过将金刚石颗粒与碳化硅颗粒和有机结合料混合来形成所述碳化硅膏料。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述金刚石颗粒大于所述碳化硅颗粒。

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述有机结合料选自包括以下各者的组：聚乙烯醇、环氧树脂、酚醛树脂、纳米碳基料浆及它们的组合。