[发明专利]一种半导体加工用探针测试台在审
| 申请号： | 202110455893.9 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113125929A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 高必静 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/02;G01R1/14;H05K7/20 |
| 代理公司： | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人： | 石聪灿 |
| 地址： | 445400 湖北省恩施土家*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体加工用探针测试台，属于半导体加工领域。一种半导体加工用探针测试台，包括底座、测试平台，所述测试平台位于底座上，所述测试平台上设有测试机构，所述底座内设有测试仪器，所述测试机构与测试仪器之间电性连接，测试平台上设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有固定板，所述固定板上设有放置槽，所述固定板内设有空腔，所述空腔位于放置槽的下方；本发明，通过空腔、导热板、抽排气机构、气仓、加热机构的设置便于测试温度变化对半导体件性能的影响，通过夹持机构的设置便于对半导体件进行夹持固定，移动槽、螺纹杆、固定板的设置便于调节半导体件的位置，风管、第二转轴、扇叶的设置便于对测试仪器进行散热降温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工用 探针 测试 | ||
【主权项】：
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