[发明专利]微机电红外光感测装置在审
| 申请号： | 202110440880.4 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN114719997A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 李柏勋;陈明发 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01J5/58 | 分类号： | G01J5/58;G01J5/24;G01J5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、反射板、多个第一支撑元件、多个第二支撑元件及多个阻挡元件。该些第二支撑元件连接感应板，而使感应板悬浮于基板上方。反射板位于基板与感应板之间。该些第一支撑元件连接反射板，而使反射板悬浮于基板与感应板之间。该些阻挡元件位于基板及反射板之间。当反射板朝向基板移动而使该些阻挡元件中至少一者抵触基板或反射板时，反射板与感应板间的距离增加。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 红外光 装置 | ||
【主权项】：
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