[发明专利]微机电红外光感测装置

说明书

本发明公开一种微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、反射板、多个第一支撑元件、多个第二支撑元件及多个阻挡元件。该些第二支撑元件连接感应板，而使感应板悬浮于基板上方。反射板位于基板与感应板之间。该些第一支撑元件连接反射板，而使反射板悬浮于基板与感应板之间。该些阻挡元件位于基板及反射板之间。当反射板朝向基板移动而使该些阻挡元件中至少一者抵触基板或反射板时，反射板与感应板间的距离增加。

技术领域

本发明涉及一种可调整吸收率的微机电红外光感测装置。

背景技术

目前微机电红外光感测装置的效能已大幅改善，且已被应用于各种不同的领域。为了要能够适用于更多元的环境，微机电红外光感测装置必须支援更广的温度范围，为达成此要求，微机电红外光感测装置则要能够根据不同的环境温度自动调整其吸收率。

然而，现有的微机电红外光感测装置缺乏有效的绝热结构，使其无法有效地降低热散失，因此也导致微机电红外光感测装置的效能无法有效地提升。

另外，现有的微机电红外光感测装置的红外光吸收层及红外光反射层之间的距离大多无法进行调整。因此，当利用高解析度的读取电路读取微机电红外光感测装置的信号时，读取电路容易产生饱和的情形，使微机电红外光感测装置的感测范围受到限制。

另一方面，现有的微机电红外光感测装置的感应板容易受温度变化影响，而产生不均匀的应力及翘曲量，造成红外光吸收层及红外光反射层之间产生不一致的距离，进而影响了微机电红外光感测装置的感测精准度。

发明内容

根据本发明的一实施例，提出一种微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、反射板、多个第一支撑元件、多个第二支撑元件及多个阻挡元件。该些第二支撑元件连接感应板，而使感应板悬浮于基板上方。反射板位于基板与感应板之间。该些第一支撑元件连接反射板，而使反射板悬浮于基板与感应板之间。该些阻挡元件位于基板及反射板之间。当反射板朝向基板移动而使该些阻挡元件中至少一者抵触基板或反射板时，反射板与感应板间的距离增加。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1A～图1B为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图2为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的剖视图，且绘示微机电红外光感测装置的反射板位于第一位置；

图3为图2所示的微机电红外光感测装置的另一剖视图，且绘示微机电红外光感测装置的反射板位于第二位置；

图4A～图4B为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的剖视图；

图5为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图6为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图7为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图8为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图9为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图10为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图11为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图12为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图13A～图13B为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的立体图；

图14～图16为本发明的一实施例的微机电红外光感测装置的剖视图；