[发明专利]微机电红外光感测装置

权利要求书

1.一种微机电红外光感测装置，其特征在于，该微机电红外光感测装置包含：

基板；

感应板；

多个第二支撑元件，连接该感应板，而使该感应板悬浮于该基板上方；

反射板，位于该基板与该感应板之间；

多个第一支撑元件，连接该反射板，而使该反射板悬浮于该基板与该感应板之间；以及

多个阻挡元件，位于该基板及该反射板之间；

其中，当该反射板朝向该基板移动而使该些阻挡元件中至少一者抵触该基板或该反射板时，该反射板与该感应板间的距离增加。

2.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，还包含设置于该基板上的电极层及电连接该反射板及该电极层的电压源，该电压源在该反射板及该电极层之间产生电压差以控制该反射板移动。

3.如权利要求2所述的微机电红外光感测装置，还包含绝缘层，该绝缘层包覆该电极层。

4.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该反射板可在远离该基板的第一位置及接近该基板的第二位置间移动，该反射板在该第一位置时该反射板与该感应板间的距离为第一距离，该反射板在该第二位置时该反射板与该感应板间的距离为第二距离，且该些阻挡元件中至少一者夹抵在该基板及该反射板之间，其中该第二距离大于该第一距离。

5.如权利要求4所述的微机电红外光感测装置，其中该反射板在该第二位置时，该基板与该反射板间的距离等于该些阻挡元件中的至少一者的高度。

6.如权利要求4所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡元件包含多个第一阻挡元件及多个第二阻挡元件，且该反射板可在该第一位置、该第二位置与第三位置间移动，其中，该反射板在该第二位置时，该些第一阻挡元件夹抵在该基板或该反射板之间，该反射板在该第三位置时，该些第二阻挡元件夹抵在该基板或该反射板之间，且该反射板与该感应板间的距离为第三距离，该第三距离大于该第二距离。

7.如权利要求6所述的微机电红外光感测装置，其中该些第一阻挡元件连接至少一个该第一支撑元件，该些第二阻挡元件连接该反射板，且至少一个该第一阻挡元件的高度大于至少一个该第二阻挡元件的高度。

8.如权利要求6所述的微机电红外光感测装置，其中该些第一阻挡元件与该反射板的中心之间的距离大于该些第二阻挡元件与该反射板的中心之间的距离。

9.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡元件设置于该反射板、该基板或该些第一支撑元件上。

10.如权利要求9所述的微机电红外光感测装置，其中该些阻挡元件的连线可形成多边形，该多边形为轴对称多边形或中心对称多边形。

11.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该感应板包含上红外光吸收层及红外光感应层，该红外光感应层具有朝向该基板的下表面及与该下表面互为反向的上表面，该上红外光吸收层设置于该上表面。

12.如权利要求11所述的微机电红外光感测装置，其中该感应板还包含下红外光吸收层，该下红外光吸收层设置于该红外光感应层的该下表面。

13.如权利要求12所述的微机电红外光感测装置，其中该上红外光吸收层的材质与该下红外光吸收层的材质相同。

14.如权利要求12所述的微机电红外光感测装置，其中该上红外光吸收层的厚度等于该下红外光吸收层的厚度。

15.如权利要求1所述的微机电红外光感测装置，其中该反射板包含红外光反射层及介电材料层，该红外光反射层具有朝向该基板的下表面，该介电材料层设置于该红外光反射层的该下表面。