[发明专利]一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器

摘要

本发明涉及一种用于半导体晶圆检测车间的微尘检测传感器，包括传感器壳体，所述传感器壳体设置有吸气口，传感器壳体内设置有探测腔室，传感器壳体的吸气口端设置有吸气泵，吸气泵与探测腔室之间设置有过滤器，探测腔室内设置有光电传感器，光电传感器连接有电路主板，电路主板连接有供电器。本发明在半导体晶圆检测车间对生产出的半导体晶圆进行微尘检测，确保表面结构和电子特性均达标的半导体晶圆产品流出生产线，同时保证半导体晶圆检测车间的整体整洁性，实时检测半导体晶圆车间微尘分布情况，避免因检测车间的微尘污染给半导体晶圆带来损坏，从而造成经济损失。