[发明专利]一种小晶粒锐钛矿光学薄膜、制备方法及其用途有效
| 申请号： | 202110426312.9 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN113215536B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 曾进能;赵恒;龚燕妮;李晓峰;褚祝军;常乐;李廷涛;杨琼连;李金沙;王乙瑾;高兵祥;马怀超;杜木林;刘倍宏;汪云;钟梓源;须恃瑜;杨振;杨小东 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/35;C23C16/40;C23C16/455;G02B1/02 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650217*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种小晶粒锐钛矿光学薄膜及其制备方法，有效抑制锐钛矿大晶粒现象的技术难题，有效地提高了像增强器输入窗与光电阴极界面的透过率，提高了光电阴极的光电发射效率，属于光电探测领域。本发明所述小晶粒锐钛矿光学薄膜制备在玻璃基底表面。小晶粒锐钛矿光学薄膜由过渡层、锐钛矿薄膜和夹层薄膜组成。锐钛矿薄膜制备在过渡层薄膜表面，在锐钛矿薄膜的基础上制备夹层薄膜，周期性的重复锐钛矿薄膜和夹层薄膜的制作，且表层为锐钛矿薄膜，达到要求的厚度即完成小晶粒锐钛矿光学薄膜制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶粒 锐钛矿 光学薄膜 制备 方法 及其 用途 | ||
【主权项】：
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