[发明专利]一种可涂覆于深孔零件的高硬度TiN保护性涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 202110420463.3 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113136562A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 冯利民;李建中;张涛;吴静怡;于凯 | 申请（专利权）人： | 东北大学;上海新弧源涂层技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/515;C23C16/02 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周莹;李馨 |
| 地址： | 110819 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用空心阴极原理可涂覆于深孔和异形零件的高硬度TiN保护性涂层及其制备方法，包括如下制备步骤：(1)基体清洗：将经抛光处理后的基体分别在无水乙醇和丙酮中利用超声波清洗3～7min后，在1％～3％浓度的氢氟酸中处理5～20s；(2)基体上不同比例N，H，Ar离子蚀刻，提高基体和涂层结合强度；(3)基体上TiN涂层制备。本发明可以有效地在深孔表层沉积高质量的TiN涂层，提升TiN涂层与基材之间的结合强度，同时具有生产效率高、涂层质量好、工艺简单等优点，可应用于长径比较高的深孔类零件以及刀具、模具等承受耐磨、冲击等载荷零件的保护性涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可涂覆 零件 硬度 tin 保护性 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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