[发明专利]定位机构及研磨设备有效
| 申请号： | 202110412585.8 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113103144B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 韩岭峰;古进忠 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B41/047;B24B47/12;B24B47/26 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种定位机构及研磨设备。定位机构用于对研磨设备的研磨垫定位，定位机构包括本体、滑块和弹性件。其中，本体包括：第一台阶和第二台阶，第一台阶具有竖直的第一阶面，第二台阶具有水平的第二阶面和竖直的第三阶面，其中，第一阶面、第二阶面和第三阶面依序连接呈阶梯状。滑块位于第二阶面，滑块背离第一阶面的一侧具有第一弧形面，第一弧形面向靠近第一阶面的方向凹陷，使第一弧形面能够与研磨垫的外周缘配合抵接。弹性件连接于第一阶面与滑块之间，使滑块在第二阶面上相对于第一阶面可滑动。本发明的定位机构能够对不同尺寸的研磨垫进行定位并安装，保证研磨垫与旋转台的同轴度，并且操作简便灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 机构 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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