[发明专利]定位机构及研磨设备

权利要求书

1.一种定位机构，用于对研磨设备的研磨垫(100)定位，其特征在于，所述定位机构包括：

本体(1)，包括：

第一台阶(11)，具有竖直的第一阶面(111)；以及

第二台阶(12)，具有水平的第二阶面(121)和竖直的第三阶面(122)，其中，所述第一阶面(111)、所述第二阶面(121)和所述第三阶面(122)依序连接呈阶梯状；

滑块(2)，位于所述第二阶面(121)，所述滑块(2)背离所述第一阶面(111)的一侧具有第一弧形面(21)，所述第一弧形面(21)向靠近所述第一阶面(111)的方向凹陷，使所述第一弧形面(21)能够与所述研磨垫(100)的外周缘配合抵接；以及，

弹性件(3)，连接于所述第一阶面(111)与所述滑块(2)之间，使所述滑块(2)在所述第二阶面(121)上相对于所述第一阶面(111)可滑动；

其中，所述第三阶面(122)为向靠近所述第一台阶(11)的方向凹陷的弧形面，所述弧形面的曲率与所述研磨设备的旋转台(200)的侧壁的曲率相同，使所述第三阶面(122)能够与所述旋转台(200)的侧壁配合接触；

将所述研磨垫(100)覆盖于所述旋转台(200)上，转动所述旋转台(200)，在旋转的过程中，所述定位机构的位置不变，所述滑块(2)依靠所述弹性件(3)的变形往复滑动，以调整所述研磨垫(100)的位置。

2.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述第一弧形面(21)的曲率与所述研磨垫(100)的曲率相同。

3.根据权利要求2所述的定位机构，其特征在于，所述本体(1)包括：

第一定位件(101)，包括所述第一台阶(11)；

第二定位件(102)，具有相对且平行的上表面和下表面，所述上表面为所述第二阶面(121)，所述上表面与所述第一阶面(111)的底端连接；以及

第三定位件(103)，设于所述第二定位件(102)的下表面，并与所述第一定位件(101)在水平方向上间隔设置，所述第三定位件(103)的远离所述第一定位件(101)的一侧为所述第三阶面(122)。

4.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述第二定位件(102)具有延伸部(1021)，所述延伸部(1021)自所述下表面与所述第三阶面(122)的连接处向远离所述第一阶面(111)的方向延伸，在所述第三阶面(122)与所述旋转台(200)的侧壁配合接触时，所述延伸部(1021)的所述下表面与所述旋转台(200)的顶面接触。

5.根据权利要求4所述的定位机构，其特征在于，所述延伸部(1021)的厚度(d)为3～10mm。

6.根据权利要求5所述的定位机构，其特征在于，所述延伸部(1021)的厚度(d)自所述下表面与所述第三阶面(122)的连接处向远离所述第一阶面(111)的方向逐渐减小。

7.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，所述第一定位件(101)、所述第二定位件(102)和所述第三定位件(103)一体成型。

8.根据权利要求3所述的定位机构，其特征在于，位于所述滑块(2)与所述第一定位件(101)之间的所述第二定位件(102)的上表面设有刻度。

9.根据权利要求8所述的定位机构，其特征在于，还包括固定件，当将所述滑块(2)的与所述第一定位件(101)相对的侧面调节至一预设刻度时，所述固定件用于固定所述滑块(2)。

10.根据权利要求1所述的定位机构，其特征在于，所述弹性件(3)为弹簧。

11.根据权利要求10所述的定位机构，其特征在于，所述弹簧的数量为2～5个。

12.根据权利要求11所述的定位机构，其特征在于，所述弹簧的形变量为5～15cm。