[发明专利]一种面阵探测器

摘要

本发明公开一种面阵探测器，涉及光电或辐射射线探测技术领域，以解决无法在保证能谱分辨的同时进行位置分辨的问题。所述面阵探测器包括多个单像素，单像素包括柱形的衬底，衬底的上底面上设置有第一重掺杂区，第一重掺杂区为P型重掺杂区或者N型重掺杂区。衬底的下底面上设置有与第一重掺杂区的掺杂类型不同的第二重掺杂区，按照衬底侧面贴合衬底侧面的方式对多个单像素进行排列，形成一个面阵列，构成面阵探测器，从而能够在保证能谱分辨的同时进行位置分辨。本发明提供的一种面阵探测器用于光电或者辐射射线的探测。