[发明专利]基板处理装置及方法在审
| 申请号： | 202110406683.0 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113532065A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 金南辰;白承大;许今东;金成烨;朴峻求 | 申请（专利权）人： | 杰宜斯科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/00;F26B25/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁小龙 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板处理装置及方法，包括：操作台部；转轴部，以能够旋转的方式安装于操作台部，并且使放置的基板进行旋转；第一处理部，安装于操作台部，并且向基板喷射第一干燥物质；以及第二处理部，安装于操作台部，并且向已喷射第一干燥物质的基板喷射第二干燥物质，从而可提高基板干燥作业性。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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