[发明专利]一种制备柔性有机新能源电池组件的生产设备

摘要

本发明公开一种柔性有机新能源电池组件的卷对卷镀膜生产设备，用于在柔性基底上连续完成新能源电池功能单元各膜层的制备以及封装剂的填充制备，该设备为多腔室的连续式卷对卷形式，主要包括：磁控溅射镀膜区域、槽模涂布区域、蒸发镀膜区域、浸渍涂布区域；其中，磁控溅射镀膜区域的工作真空度为1×10‑2‑1Pa范围内，槽模涂布区域的工作压强为500‑5000Pa范围内，蒸发镀膜区域的工作真空度为1×10‑3‑6×10‑1Pa范围内，浸渍涂布区域的工作压强为1×104‑9.5×104Pa；各区域之间是连通式的，不设置封闭式阀门。在各区域之间均分别设置有过渡腔室‑超细狭缝动密封装置，实现各区域之间不同气体组分和不同压强的隔绝。