[发明专利]二维异质结材料界面缺陷检测方法及装置有效
| 申请号： | 202110379721.8 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113125363B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 刘大猛;刘欢;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/65;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郑朝然 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种二维异质结材料界面缺陷检测方法及装置，该方法包括：利用飞秒瞬态吸收成像系统对石墨烯和TMDC材料构成的二维异质结进行探测，获取探测光衰减曲线；根据探测光衰减曲线获取电声耦合寿命；根据电声耦合寿命与等离子攻击时间关系曲线获取等离子攻击时间；根据等离子攻击时间获取缺陷浓度。本发明提供的二维异质结材料界面缺陷检测方法，通过利用飞秒瞬态吸收成像系统获取异质结探测光衰减曲线，根据探测光衰减曲线获取电声耦合寿命，根据电声耦合寿命与等离子攻击时间关系曲线获取等离子攻击时间，根据等离子攻击时间获取缺陷浓度，实现利用飞秒瞬态吸收成像技术，基于“缺陷‑电声耦合”作用机理，检测二维材料异质结界面缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 异质结 材料 界面 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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