[发明专利]利用可变扩散板的光学系统在审
| 申请号： | 202110379215.9 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113514467A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 宋基永;赵训民;林钟奎 | 申请（专利权）人： | 康耐视公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开的一实施例，公开用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置。上述缺陷检查装置可包括：照明系统，设置有光源及可变扩散器，上述光源通过向上述检查对象物体照射光来造影，上述可变扩散器位于上述光源与检查对象物体之间，能够调节向检查对象物体透射的光的扩散度；以及一个以上的处理器，以上述检查对象物体的特性为基础，控制上述可变扩散器。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 可变 扩散 光学系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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