[发明专利]利用可变扩散板的光学系统

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，用于判断检查对象物体是否存在异常，其特征在于，

包括：

照明系统，设置有光源及可变扩散器，上述光源通过向上述检查对象物体照射光来造影，上述可变扩散器位于上述光源与检查对象物体之间，能够调节向检查对象物体透射的光的扩散度；以及

一个以上的处理器，以上述检查对象物体的特性为基础，控制上述可变扩散器。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，能够根据上述处理器的电信号调节通过上述可变扩散器的光的扩散度。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述可变扩散器包括根据上述处理器的电信号调节透明度的液晶膜。

4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述可变扩散器为根据上述处理器的控制信号调节配置状态的扩散器。

5.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述处理器控制上述可变扩散器，使得上述可变扩散器根据检查对象物体的表面特征，向检查对象物体的表面的各个区域透射扩散度不同的光。

6.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

还包括用于获取图像数据的拍摄部，

上述处理器从所获取的上述图像数据识别检查对象物体，以所识别的物体为基础，确定向检查对象物体透射的光的扩散度，并根据所确定的上述光的扩散度控制上述可变扩散器。

7.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

还包括用于获取图像数据的拍摄部，

上述处理器从所获取的上述图像数据识别检查对象物体表面的光反射率，以所识别的上述检查对象物体表面的光反射率为基础确定向上述检查对象物体透射的光的扩散度，并根据所确定的上述光的扩散度控制上述可变扩散器。

8.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

还包括用于获取图像数据的拍摄部，

上述处理器从通过上述拍摄部获取的图像数据识别检查对象物体，

在上述检查对象物体表面的至少一区域所需的光的扩散度与剩余其他区域不同的情况下，控制上述可变扩散器，使得上述可变扩散器具有两个以上的互不相同的透明度。

9.根据权利要求8所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述处理器控制上述可变扩散器，使得上述可变扩散器所包含的两个以上的区域具有互不相同的透明度。

10.根据权利要求8所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述处理器依次控制上述可变扩散器，使得上述可变扩散器具有互不相同的两个以上的透明度。

11.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

还包括：

拍摄部，用于获取图像数据；以及

存储器，存储基于深度学习的模型，

上述处理器利用上述基于深度学习的模型所包含的一个以上的子模型判断上述图像数据所包含的检查对象物体是否存在缺陷，

上述一个以上的子模型对上述可变扩散器所具有的互不相同的透明度分别进行学习。

12.根据权利要求11所述的缺陷检查装置，其特征在于，

在上述处理器中，

在上述可变扩散器未使所透射的光扩散的情况下，向上述基于深度学习的模型的第一子模型输入所获取的非扩散光图像数据，由此判断上述图像数据所包含的检查对象物体是否存在缺陷，

在上述可变扩散器使所透射的光扩散的情况下，向上述基于深度学习的模型的第二子模型输入所获取的扩散光图像数据，由此判断上述图像数据所包含的检查对象物体是否存在缺陷。

13.一种存储有计算机程序的计算机可读存储介质，其特征在于，若在根据权利要求1所述的缺陷检查装置的一个以上的处理器运行上述计算机程序，则执行用于判断检查对象物体是否存在缺陷的动作。

14.一种用于检查检查对象物体是否存在异常的方法，其特征在于，在根据权利要求1所述的缺陷检查装置中执行。