[发明专利]基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置在审
| 申请号： | 202110375187.3 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113174563A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 段廷原;张铢仓 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杜蕾 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置。该基板架结构包括：能够旋转的主轴；缓冲层，套接于主轴上；密封层，套接于缓冲层上；多个第一密封环，套接于主轴上且位于主轴和缓冲层之间；以及多个第二密封环，套接于缓冲层且位于缓冲层和密封层之间。由此，能够减少主轴以及密封层的维护和更换次数，并减少漏液风险，从而能够提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板架 结构 包括 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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