[发明专利]基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置

说明书

本发明公开了一种基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置。该基板架结构包括：能够旋转的主轴；缓冲层，套接于主轴上；密封层，套接于缓冲层上；多个第一密封环，套接于主轴上且位于主轴和缓冲层之间；以及多个第二密封环，套接于缓冲层且位于缓冲层和密封层之间。由此，能够减少主轴以及密封层的维护和更换次数，并减少漏液风险，从而能够提高生产效率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置。

背景技术

有机电致发光二极体(Organic light emitting diode，OLED)的发光层主要依靠蒸镀设备进行镀膜制成。蒸镀就是在真空中通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基板表面而凝结，从而形成薄膜。点源蒸镀机是一种常用的蒸镀设备，为了保证成膜的均一性和厚度，在蒸镀时，需要对待蒸镀的基板(玻璃)进行冷却，以防止高温损坏器件的性能，同时，还要对待蒸镀的基板进行匀速旋转，以保证蒸镀出来的分子可以较为平整地吸附在基板上。

然而，在点源蒸镀机中，基板架的轴承在带着基板旋转时，内部的冷却液密封层容易受损，使得冷却液容易发生泄漏。

发明内容

鉴于上述内容，本发明提出了一种基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置，能够减少主轴以及密封层的维护和更换次数，并减少漏液风险，从而能够提高生产效率。

本发明的一方面提供了一种基板架结构，包括：

能够旋转的主轴；

缓冲层，套接于所述主轴上；

密封层，套接于所述缓冲层上；

多个第一密封环，套接于所述主轴上且位于所述主轴和所述缓冲层之间；以及

多个第二密封环，套接于所述缓冲层且位于所述缓冲层和所述密封层之间。

在一优选实施例中，所述缓冲层固定于所述主轴上，以与所述主轴同时旋转。

在一优选实施例中，所述基板架结构还包括冷却板，所述冷却板设置于所述主轴的一端，以用于固定和冷却基板。

在一优选实施例中，所述缓冲层的材料为不锈钢、因瓦合金，铝合金中的一种。

在一优选实施例中，所述缓冲层的厚度范围为0.5mm到2mm。

在一优选实施例中，所述缓冲层的厚度为1mm。

在一优选实施例中，所述缓冲层的表面粗糙度小于0.2um。

在一优选实施例中，所述第一密封环和所述第二密封环为O型圈。

在一优选实施例中，所述O型圈的压缩率大于5％。

在一优选实施例中，所述第二密封环的数量大于所述第一密封环的数量。

在一优选实施例中，所述第二密封环的数量大于5个。

本发明的另一方面提供了一种蒸镀装置，包括如上所述的基板架结构。

本发明的基板架结构及包括该基板架结构的蒸镀装置通过在所述主轴和所述密封层之间增加所述缓冲层，能够避免所述密封层与所述主轴发生摩擦，同时，在所述密封层与所述缓冲层摩擦时，所述缓冲层与所述主轴间的多个第一密封环能够起到缓冲作用，从而避免了将所述密封层与所述缓冲层之间的多个第二密封环损坏。由此，能够减少所述主轴以及所述密封层的维护和更换次数，并减少漏液风险，从而能够提高生产效率。

附图说明