[发明专利]具有夹层SnS薄膜吸收层的叠层太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有夹层硫化亚锡薄膜吸收层的叠层太阳能电池及其制备方法。该太阳能电池依次包括透明导电基底层、n‑(SnS2)层或n‑SnS2(TiO2)层、夹层SnS吸收层以及背电极层，其中的夹层SnS吸收层为p‑SnS(N)/p‑SnS/p‑SnS(N)夹层结构，该夹层结构是在PECVD法进行SnS薄膜制备过程中进行N元素的掺杂。在吸收层结构中加入的N掺杂SnS薄膜，其可以作为SnS2/SnS2(TiO2)层与p‑SnS薄膜之间以及与背电极之间的过渡层，能够降低层间电阻，提高光电转换效率。同时，过渡层结构能够为增加SnS吸收层制备厚度以进一步提高电池的光电转换效率提供可能，且该掺杂工艺在SnS薄膜制备过程中同时进行，没有增加额外的工艺步骤。