[发明专利]一种封闭式挡板结构在审
| 申请号： | 202110373738.2 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN112921279A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 战永刚;金小桃;战捷;汤兆胜;尹强 | 申请（专利权）人： | 深圳市三束镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹;彭涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种封闭式挡板结构，所述挡板结构包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构，所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构，所述挡板的侧壁上设有一开孔，所述开孔连接所述观察筒一端，所述观察筒固定于所述支撑架上，所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上，驱动所述支撑架升降和转动。本发明的挡板结构应用于电子枪镀膜装置上后，能够在膜料预熔时将蒸发源完全封闭，避免了坩埚周边的严重脏污和基片被污染的情况，且本挡板结构上还设有观察筒，可在挡板扣下时实时对膜料的熔料状况进行观察。本发明用于双电子枪的镀膜设备时，可防止两个坩埚的膜料相互污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 封闭式 挡板 结构 | ||
【主权项】：
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