[发明专利]一种封闭式挡板结构

权利要求书

1.一种封闭式挡板结构，其特征在于，包括挡板、观察筒、支撑架和驱动机构，所述挡板为一底端开口顶端密闭的筒形结构，所述挡板的侧壁上设有一开孔，所述开孔连接所述观察筒一端，所述观察筒固定于所述支撑架上，所述驱动机构的动力输出端连接至所述支撑架上，驱动所述支撑架升降和转动。

2.根据权利要求1所述的封闭式挡板结构，其特征在于，所述开孔的大小与所述观察筒的内截面大小形状相同，所述观察筒与所述挡板在所述开孔处焊接连接。

3.根据权利要求1所述的封闭式挡板结构，其特征在于，所述支撑架为三角形，所述观察筒固定在所述支撑架三角形斜边上，所述观察筒另一端指向镀膜机观察窗。

4.根据权利要求1所述的封闭式挡板结构，其特征在于，所述驱动机构包括：伸缩驱动器、连接板和旋转驱动器，所述伸缩驱动器固定于真空室的底板上，其动力输出端连接至所述连接板上，所述旋转驱动器固定于所述连接板上。

5.根据权利要求4所述的封闭式挡板结构，其特征在于，所述旋转驱动器的动力输出端穿过所述连接板和真空室的底板与所述支撑架相连接。

6.根据权利要求4所述的封闭式挡板结构，其特征在于，所述伸缩驱动器为一伸缩电机或伸缩气缸，所述旋转驱动器为一旋转电机或旋转气缸。所述伸缩驱动器和所述旋转驱动器均与镀膜机控制系统通信连接。

7.根据权利要求4所述的封闭式挡板结构，其特征在于，所述旋转驱动器的动力输出端与真空室的底板间设有一动密封件，所述动密封件为油封或磁流体密封件。

8.根据权利要求1所述的封闭式挡板结构，其特征在于，还包括衬板和围筒，所述衬板固定在真空室的底板上且设有挖孔，所述挖孔位于电子枪阳极孔到电子束焦斑位置的区域上方；所述围筒固定于所述挖孔一周，罩住所述挖孔。