[发明专利]一种MoS2有效

专利信息
申请号: 202110345225.0 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN113097321B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 吕慧丹;王子良;刘勇平;班如静;王璇 申请(专利权)人: 桂林理工大学
主分类号: H01L31/0336 分类号: H01L31/0336;H01L31/109;H01L31/18;B82Y30/00
代理公司: 东莞市汇橙知识产权代理事务所(普通合伙) 44571 代理人: 黎敏强
地址: 541004 广西壮族*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明提供了一种MoS2/SnSe2/H‑TiO2异质结光电探测器件的制备方法,包括以下步骤:(1)使用阳极氧化法制备TiO2纳米管;(2)使用双温区真空气氛管式炉生长SnSe2纳米片,得到SnSe2/H‑TiO2异质结;(3)将得到的SnSe2/H‑TiO2异质结放置于溅射真空室,使用靶材MoS2(纯度99.99%)以室温下,氩气氛围,采用磁控溅射法在SnSe2/H‑TiO2异质结上复合MoS2,得到了MoS2/SnSe2/H‑TiO2异质结。本发明方法制得到的MoS2/SnSe2/H‑TiO2异质结光电探测器件具有较大的光响应值和探测率。
搜索关键词: 一种 mos base sub
【主权项】:
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