[发明专利]碱可溶性树脂、感光性树脂组合物及硬化物在审
| 申请号: | 202110344983.0 | 申请日: | 2021-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN113461906A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
| 发明(设计)人: | 滑川崇平 | 申请(专利权)人: | 日铁化学材料株式会社 |
| 主分类号: | C08G59/14 | 分类号: | C08G59/14;G03F7/004;G03F7/027;G02F1/1335 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
| 地址: | 日本东京中央区日本桥一丁目*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: |
本发明提供一种可将图案形状维持为矩形的碱可溶性树脂、感光性树脂组合物及硬化物。一种碱可溶性树脂,由通式(1)表示,且在一分子内具有羧基及聚合性不饱和基。通式(1)中,X表示碳数1~20的二价烃基或可经碳数1~20的烃基取代的二价芳香族烃基。Y为氢原子、碳数1~5的烃基R或取代基Z,取代基Z为通式(2)或通式(3)所表示的取代基。其中,Y的至少两个为取代基Z。作为平均值的n的值为1~20。进而,萘环的氢原子的一部分可经R |
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| 搜索关键词: | 可溶性 树脂 感光性 组合 硬化 | ||
【主权项】:
暂无信息
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