[发明专利]一种霍尔传感器及其制备方法和测试方法在审
| 申请号： | 202110343111.2 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN115148894A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 范林杰;毕津顺;习凯;徐彦楠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L43/06 | 分类号： | H01L43/06;H01L43/04;H01L43/10;H01L43/14;G01D5/14;G01D18/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种霍尔传感器及其制备方法和测试方法，霍尔传感器包括：衬底层、底电极、极性转换层、载流子感应层和顶电极；所述底电极、所述极性转换层、所述载流子感应层和所述顶电极依次设置于所述衬底层的一侧；所述极性转换层用于根据所述底电极上被施加的电压进行极性的转换；所述载流子感应层用于感应所述极性转换层的所述极性，以生成对应的载流子；所述顶电极用于根据输入的偏置信号，输出感应信号。能够提高现有霍尔传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 传感器 及其 制备 方法 测试 | ||
【主权项】：
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