[发明专利]一种超反射镜及其设计方法和制备方法有效
| 申请号： | 202110330291.0 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113140350B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王孝东;陈波;王瀚林;王海峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超反射镜及其涉及方法和制备方法，其中基于模块法，将所述超反射镜设置为基底和沉积在所述基底上的多个周期薄膜，并在沿远离所述基底的方向上，按能量逐渐减小的方式交替沉积碳层和铂层以形成多个的所述周期薄膜，从而能够降低所述超反射镜对X射线能量的吸收，有利于提高所述超反射镜在多个掠入射角下的反射率，且有利于提高所述超反射镜的角度容忍性，且所述超反射镜的最外层为铂层，性能稳定因而具有较好的空间适应性；本发明通过磁控溅射方法制备得到所述超反射镜，制备方式简单，成本低，精度高且成膜质量好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 及其 设计 方法 制备 | ||
【主权项】：
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