[发明专利]一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法有效
| 申请号： | 202110318218.1 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113091638B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 刘锋伟;邓婷;陈强;吴永前;覃蝶;徐淑静 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法，属于光学检测领域。该方法通过控制反射镜的位移及偏转，记录光斑偏离位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系来对系统的回程误差进行标定。具体通过五维电控微位移台控制反射镜发生微位移，使反射镜反射的光斑在视场范围内进行规律移动，记录不同光斑位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系，然后进行曲面拟合。当载物台放置待测反射镜时，通过找到光斑位置来依据拟合得到的曲面求解Zernike多项式的各项系数，组合各阶像差即可得到反射镜在该位置的回程误差。此方法针对在高精度测量时，回程误差不能调零的情况，具有结构简单、精度较高、实用性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标定 干涉 测量 中的 回程 误差 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110318218.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
