[发明专利]支撑机构、推料装置、装载机台及PECVD设备

摘要

本发明涉及一种支撑机构，包括至少两个支撑组件及至少两根承载杆。每一承载杆一端沿之套筒的轴向插入对应的套筒内，另一端突出于支撑件远离套筒的一端，也就是说至少两根承载杆沿X方向间隔布设，而所有的承载杆的承载面形成用于承载石墨舟承载位，且每一承载杆相对承载面的配接面支撑于对应的支撑件的支撑面，从而提高对承载杆的支撑能力，进而提高了承载杆自身的承载能力，使得至少两根承载杆能够承载重量重以及尺寸大的石墨舟，提高了加工效率。本发明还涉及推料装置、装载机台及PECVD设备。