[发明专利]VCM弹片及其制作方法在审
| 申请号： | 202110310294.8 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113131711A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 张礼冠;许建勇 | 申请（专利权）人： | 江西展耀微电子有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/035 | 分类号： | H02K41/035;H02K15/00;G03F7/20;G02B7/09 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 330200 江西省南昌市临空经济区*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种VCM弹片及其制作方法，制作方法包括：在基板上形成第一干膜，图案化第一干膜，以形成第一凹槽；在第一凹槽形成第一导电层；在第一干膜和第一导电层上形成第二干膜，图案化第二干膜，以形成第二凹槽；在第二凹槽形成第二导电层；其中，第一凹槽和第二凹槽至少部分连通，以使第一导电层和第二导电层至少部分连接。通过在基板上做加法工艺，由于无需蚀刻，制程较为简单且具有较高的材料利用率，可避免刻蚀制程不稳定导致的缺陷，而且通过在第一凹槽形成第一导电层以及通过在第二凹槽形成第二导电层，相邻VCM弹片的第一导电层和第二导电层无需相连，在成型后可直接获得单颗VCM弹片。 | ||
| 搜索关键词： | vcm 弹片 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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