[发明专利]阳极氧化膜结构物及包括其的探针头以及包括其的探针卡在审
| 申请号： | 202110307112.1 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113447683A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;李东垠 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由阳极氧化膜形成的阳极氧化膜结构物及包括所述阳极氧化膜结构物的探针头以及包括所述探针头的探针卡，特别是涉及一种配置有微细化及窄节距化的引导孔洞且探针容易插入的阳极氧化膜结构物及包括所述阳极氧化膜结构物的探针头以及包括所述探针头的探针卡。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 氧化 膜结构 包括 探针 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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