[发明专利]阳极氧化膜结构物及包括其的探针头以及包括其的探针卡在审
| 申请号： | 202110307112.1 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113447683A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;李东垠 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阳极 氧化 膜结构 包括 探针 以及 | ||
1.一种探针头，包括：
上部引导板，配置有上部引导孔洞；以及
下部引导板，配置有下部引导孔洞，
多个探针依序贯通所述上部引导孔洞及所述下部引导孔洞，所述上部引导板及所述下部引导板中的至少一者由阳极氧化膜片材形成，
所述阳极氧化膜片材包括包含气孔的多孔层以及配置在所述多孔层的至少一面且不包含气孔的阻挡层。
2.根据权利要求1所述的探针头，其中所述阻挡层的厚度比所述多孔层的相邻的气孔之间的间隔壁的厚度厚。
3.根据权利要求1所述的探针头，其中所述上部引导板及所述下部引导板中的至少一者通过层叠阳极氧化膜片材构成。
4.根据权利要求3所述的探针头，其中所述阳极氧化膜片材通过接合部彼此接合。
5.根据权利要求4所述的探针头，其中所述接合部为能够进行光刻的感光性膜。
6.一种探针卡，包括：
空间转换器，配置有与多个探针电连接的探针连接垫；以及
探针头，配置在所述空间转换器的下部，
所述探针头包括：
上部引导板，配置有上部引导孔洞；以及
下部引导板，配置有下部引导孔洞，
多个探针依序贯通所述上部引导孔洞及所述下部引导孔洞，所述上部引导板及所述下部引导板中的至少一者由阳极氧化膜片材形成，
所述阳极氧化膜片材包括包含气孔的多孔层以及配置在所述多孔层的至少一面且不包含气孔的阻挡层。
7.一种阳极氧化膜结构物，包括：
阳极氧化膜片材，包括包含气孔的多孔层以及配置在所述多孔层的至少一面且不包含气孔的阻挡层，
所述阻挡层的厚度比所述多孔层的相邻的气孔之间的间隔壁的厚度厚。
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