[发明专利]烘干固化炉装置和烘干方法在审
| 申请号： | 202110297953.9 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN112964047A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 左国军;吴勇茂;钟文魁;罗搏飞;冼志军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/14 | 分类号： | F26B15/14;F26B25/18;F26B25/00;F26B25/06;F26B3/02 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干 固化 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州捷佳创智能装备有限公司，未经常州捷佳创智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110297953.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种全自动绕线、浸锡装置
- 下一篇：用户数据的分类方法、装置、设备和介质
