[发明专利]烘干固化炉装置和烘干方法

说明书

本发明提供了一种烘干固化炉装置和烘干方法，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。本发明的技术方案中，花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率。

技术领域

本发明涉及烘干固化炉装置设备技术领域，具体而言，涉及一种烘干固化炉装置和烘干方法。

背景技术

目前，相关技术中的烘干固化炉装置需要人工进行辅助作业，这样导致烘干固化炉装置的烘干效率低，进而影响了硅片的产能。以上也就是说，亟待开放一种烘干效率高的烘干固化炉装置。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提供一种烘干固化炉装置。

本发明的另一个目的在于提供一种烘干方法。

为了实现上述目的，本发明的实施例提供了一种烘干固化炉装置，用于烘干工件，固化炉装置包括：花篮，工件沿第一方向叠放于花篮上，炉体装置，花篮沿第二方向在炉体装置内传送，第一方向和第二方向相垂直。

在该技术方案中，工件层叠放置于花篮上，花篮在炉体装置内垂直于工件层叠方向传送。花篮用于装载硅片，并将硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，方便硅片进行下一道工序。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率，本申请中工件可以理解为硅片。

另外，本发明提供的上述实施例中的花篮还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，固化炉装置还包括：机架，包括主容纳腔和设置于主容纳腔至少一侧的侧腔内，炉体装置设置在主容纳腔内；升降机构，设置在侧腔内；控制系统，与升降机构和炉体装置连接；其中，花篮沿第一方向放置在升降机构上或者炉体装置内；控制系统通过控制升降机构动作，以将工件传送至炉体装置内进行烘干，或者以将烘干后的工件传送至其他位置。

在该技术方案中，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构动作，将花篮和装载在花篮内的硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求，同时提高了烘干固化炉装置的烘干效率，本申请中工件可以理解为硅片。

在上述任一技术方案中，烘干固化炉装置还包括回传机构，回传机构用于回传空载的花篮。

在该技术方案中，回传机构用于接收位于右侧的侧腔内的升降机构传送的空载的花篮，此时花篮内的硅片已经卸除，并将该空载的花篮传送至位于左侧的侧腔内的升降机构，从而确保花篮能够重复利用，进而提高了烘干固化炉装置的工作效率，同时节约了烘干固化炉装置的使用成本。

在上述任一技术方案中，机架还包括中间分隔板，中间分隔板设置在主容纳腔内，用于将主容纳腔分隔成上腔体和下腔体，炉体装置设置在上腔体内。

在该技术方案中，炉体装置具有烘干作用，用于烘干烘干件，进而满足烘干固化炉装置的烘干要求。

在上述任一技术方案中，机架包括两个侧腔，两个侧腔分别设置在主容纳腔的两侧，固化炉装置包括两个升降机构，两个升降机构分别设置在对应的侧腔内，回传机构设置在下腔体内，且与控制系统连接。

在该技术方案中，烘干固化炉装置利用控制系统控制升降机构动作，将花篮和装载在花篮内的硅片送入炉体装置进行烘干，当硅片烘干完成后，又将硅片传送至其他部件，即上下料机构，便于其下料。这样使得烘干固化炉装置具有自动烘干硅片的功能，从而满足设备的自动化要求。