[发明专利]一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼-碳化硅复合陶瓷的生产方法在审

专利信息
申请号: 202110296116.4 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN113024256A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: C04B35/565 分类号: C04B35/565;C04B35/563;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/64
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 陈润明
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种利用碳化硅晶体研磨废液制备碳化硼‑碳化硅复合陶瓷的生产方法,它属于碳化硼‑碳化硅复合陶瓷制备技术领域。本发明要解决的技术问题为废料的回收再利用。本发明将磨料为碳化硼的碳化硅晶体研磨废液搅拌后,利用过滤器进行分离,得到颗粒,水洗后得到第一滤渣加入盐酸溶液浸泡并充分搅拌60‑120min,然后水洗、烘干、球磨后置于模具中于进行冷等静压成型,将成型胚料放入真空电炉内烧制,以2‑5℃/min升温至300℃并保温30min,再以3‑5℃/min升温至1600‑2000℃并保温30min,最后以3‑8℃/min降温至1000℃,关闭真空电炉电源使其自然冷却至室温。本发明用于碳化硅晶体研磨废液的回收。
搜索关键词: 一种 利用 碳化硅 晶体 研磨 废液 制备 碳化 复合 陶瓷 生产 方法
【主权项】:
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