[发明专利]一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法有效
| 申请号： | 202110295453.1 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113176276B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王绍凯;黄运;黄新剑;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈工大机器人（中山）无人装备与人工智能研究院 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理有限公司 11473 | 代理人： | 段守富 |
| 地址： | 528400 广东省中山市翠亨新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法，涉及面板缺陷检测技术领域，该设备包括支撑台、第一龙门、第二龙门、扫描机构和复检机构，第一龙门包括第一立柱和设于第一立柱上的第一横梁，扫描机构设于第一横梁上，第一横梁适于相对第一立柱沿第一横梁的延伸方向移动，第二龙门包括第二立柱和设于第二立柱上的第二横梁，复检机构设于第二横梁上。通过上述设置，从而可以通过移动龙门横梁来带动扫描机构移动；相对于扫描机构独立运动的方式，因其运动部分为扫描机构及龙门横梁这一整体，其刚性大，所以扫描机构局部挠曲变形小，结构更加稳定，故而更能确保扫描机构的成像质量及缺陷检测的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面板 缺陷 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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