[发明专利]一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法

说明书

本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法，涉及面板缺陷检测技术领域，该设备包括支撑台、第一龙门、第二龙门、扫描机构和复检机构，第一龙门包括第一立柱和设于第一立柱上的第一横梁，扫描机构设于第一横梁上，第一横梁适于相对第一立柱沿第一横梁的延伸方向移动，第二龙门包括第二立柱和设于第二立柱上的第二横梁，复检机构设于第二横梁上。通过上述设置，从而可以通过移动龙门横梁来带动扫描机构移动；相对于扫描机构独立运动的方式，因其运动部分为扫描机构及龙门横梁这一整体，其刚性大，所以扫描机构局部挠曲变形小，结构更加稳定，故而更能确保扫描机构的成像质量及缺陷检测的稳定性。

技术领域

本发明涉及面板缺陷检测技术领域，具体而言，涉及一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法。

背景技术

液晶显示面板在制造过程中可能会产生诸多缺陷，这些缺陷大致可分为宏观缺陷与微观缺陷，其中微观缺陷难以用肉眼检测出来。因此，为了检测面板的微观缺陷，市面上出现了相应的面板缺陷检测设备，现有的面板缺陷检测设备中，初扫相机和复扫相机分别布置在两个具有一定距离的龙门上，初扫相机在龙门上步进运动，以对待检测面板进行初扫，复扫相机根据初扫过程得到的缺陷坐标在龙门上运动至缺陷点上方，对待检测面板进行复扫，以获得详细的缺陷信息。但由于初扫相机在龙门上步进运动会导致初扫相机局部的挠曲变形，进而会影响初扫相机的成像质量，故而现有的结构设计难以确保初扫相机的成像质量和缺陷检测的稳定性。

发明内容

本发明解决的问题是现有的结构设计难以确保初扫相机的成像质量和缺陷检测的稳定性。

为解决上述问题，本发明的第一方面提供一种面板缺陷检测设备，包括支撑台、第一龙门、第二龙门、扫描机构和复检机构，所述支撑台用于承载待检测面板并驱动所述待检测面板运动，所述第一龙门包括第一立柱和设于所述第一立柱上的第一横梁，所述扫描机构设于所述第一横梁上，所述第一横梁与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述第一横梁适于相对所述第一立柱沿所述第一横梁的延伸方向移动，所述第二龙门包括第二立柱和设于所述第二立柱上的第二横梁，所述第二横梁与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述复检机构设于所述第二横梁上，所述复检机构适于在所述第二横梁上移动，所述复检机构适于在所述第二横梁上移动，所述扫描机构用于扫描所述待检测面板，所述复检机构用于对所述待检测面板进行复检。

由于扫描机构设于第一横梁上，且第一横梁适于相对第一立柱沿第一横梁的延伸方向移动，因此，可以通过移动第一横梁来带动扫描机构移动；相对于扫描机构在第一横梁上独立运动的方式，因其运动部分为扫描机构及第一横梁这一整体，其刚性大，所以扫描机构局部挠曲变形小，结构更加稳定，故而更能确保扫描机构的成像质量及缺陷检测的稳定性。另外，通过将复检机构设于与第一龙门分隔的第二龙门上，从而避免复检机构受到第一横梁移动的影响，进而保证复检过程不会受到干扰；同时由于复检模块采用复检机构独立运动的方式，因复检机构质量较小，不用担心其刚性不足及挠曲变形，则复检机构采用独立运动的方式可以达到很大的速度及加速度，从而提高复检效率。

进一步地，该面板缺陷检测设备还包括气浮导向装置，所述复检机构设于所述气浮导向装置上，所述气浮导向装置设于所述第二横梁上，所述气浮导向装置用于限制所述复检机构的移动方向。

进一步地，所述支撑台包括支撑架和设于所述支撑架上的气浮平台，所述气浮平台用于悬浮支撑所述待检测面板。

进一步地，所述气浮平台包括第一气浮平台和两个第二气浮平台，所述第一气浮平台设于两个所述第二气浮平台之间，所述第一气浮平台和所述第二气浮平台适于悬浮支撑所述待检测面板，所述扫描机构和/或所述复检机构扫描所述待检测面板时，所述待检测面板悬浮于所述第一气浮平台上。

进一步地，所述第二气浮平台包括多个气浮条，各所述气浮条平行且间隔设置，所述气浮条用于悬浮支撑所述待检测面板。

进一步地，所述支撑台还包括夹持机构，所述夹持机构用于带动所述待检测面板在所述支撑台上运动。