[发明专利]一种激光器芯片有效
| 申请号： | 202110294557.0 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113113839B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 万枫;熊永华;余洁;曾笔鉴;陈玲玲;陈如山 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司;武汉电信器件有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/06;H01S5/22;H01S5/223 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种激光器芯片，包括：位于同一衬底上的调制模块和激光模块，所述调制模块包括第一调制器和第二调制器；其中，所述第一调制器包括：在所述衬底上依次层叠的第一包覆层、第一填充层和第一电极层；所述第二调制器包括：在所述衬底上依次层叠的第二包覆层、第三包覆层和第二电极层；所述第三包覆层为深脊波导结构，所述第三包覆层覆盖所述第二包覆层的第一部分区域，所述第二包覆层未被所述第三包覆层覆盖的第二部分区域覆盖有第二填充层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 芯片 | ||
【主权项】：
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