[发明专利]一种夹持环及其内部螺孔的加工方法和用途有效
| 申请号： | 202110276203.3 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113061864B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈春磊 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;B25B11/00;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种夹持环及其内部螺孔的加工方法和用途，所述夹持环包括环形底盘和环绕环形底盘外围的外圆周体，环形底盘中部设置有内圆周体，内圆周体设置有均匀分布的固定面，固定面上设置有呈三角形设置的螺孔，所述夹持环应用于半导体的物理气相沉积镀膜生产过程，能够防止晶圆在溅射过程中产生移动，所述夹持环通过粗铣出固定面，依次经第一加工、第二加工和第三加工的加工方法制备出夹持环内部的螺孔，所述加工方法操作简单，能够满足夹持环复杂的结构要求，稳定生产出满足使用要求的夹持环。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 及其 内部 加工 方法 用途 | ||
【主权项】：
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